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集成电路车间装修工程

洁净室主要应用领域包括电子、制药、生物工程、医疗卫生、食品、实验室和军工等行业。洁净技术已广泛应用于各行各业或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制,由于各行业间差距较大,且要求不同,因此控制环境的内容、指标均不相同。

随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。一般而言,当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒,对集成电路的制造产生影响。比如,14 纳米工艺中 7 纳米的微粒就会影响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高,集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。

集成电路一般洁净度在100级到1000级,温湿度控制严格,需要很高的洁净工艺; 由于集成电路工艺生产技术的特殊性,它对生产环境,如洁净度、温度、湿度都有严格的要求,这直接关系到晶圆产品的质量和寿命,必须严格控制在要求范围之 内。在工程设计中,暖通空调专业担负着保证生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。


集成电路车间装修工程


洁净室系统采用新风集中处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干式冷盘管(DDC)的方式,其空气处理过程为:循环风经设置在一层的干式冷却盘管冷却后,进入上部送风静压箱,与处理后的新风混合,经FFU加压、过滤后送入生产区。

过滤系统如何选择:

  百级洁净室不同于千级以下洁净室,百级为层流洁净室,一般采用MAU+DDC+FFU形式;即新风机组+干盘管+风机过滤单元形式;

维护结构如何选择

1.百级洁净室墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,阴角全部选用圆弧连接;百级一般采用二次隔墙及二次吊顶形式做回风技术夹道;

2.地面:百级一般采用架空地板敷设作为回风夹道;方便气流从顶部垂直吹下;’

净化参数

换气次数:1000级≥60次;100级:过滤器满布率不低于80%。

压差:主车间对相邻房间≥10Pa平均风速:00级0.3-0.5m/s;

温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。 

湿度45-65%;噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度:不低于350LX。


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